內膽尺寸

450*450*450mm；                                       

真空度

150Pa;采用真空泵；

加熱方式

腔體外側四周加熱；

 溫度

RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫精確可靠；

控溫精度

±2%℃（150℃內）；

氨氣反轉工藝

升溫達到設定值-抽真空-達到設定值-充氨氣-取產品-取后曝光機反面曝光。

主要特點

箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。工作室采用不銹鋼板制成，電解拋光，確保產品經久耐用。