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上海檢測儀有限公司
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合肥真萍電子科技有限公司 

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單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

分享到微信

×
產品用途：
集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、
MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。
產品詳情

產品特點：

   1.一體式人機操作系統，連續式自動化生產，工作效率高，節約人工成本、電能及工藝時間；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

   3.優質不銹鋼材質，表面經物理及化學拋光處理，確保潔凈度；

   4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


技術參數：

型號

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處理產品

8/12inch 晶圓

處理量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

4個 

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 350℃，最高溫度：750℃

升溫速率

＜8℃/min

降溫速率

＜7℃/min

加熱功率

30kW(單爐)*2

加熱溫區

3個*2

爐溫均勻性

±2℃（350℃恒溫）

控溫熱偶

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料

石英

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調節進氣

流量計量程：

1）0-150L/min  氮氣

2）0-40L/min  氧氣

氣氛

N2/O2

排氣系統

在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收



單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

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產品用途：
集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、
MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。
產品詳情

產品特點：

   1.一體式人機操作系統，連續式自動化生產，工作效率高，節約人工成本、電能及工藝時間；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

   3.優質不銹鋼材質，表面經物理及化學拋光處理，確保潔凈度；

   4.自帶自清潔功能——高溫清潔。


技術參數：

型號

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處理產品

8/12inch 晶圓

處理量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

4個 

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 350℃，最高溫度：750℃

升溫速率

＜8℃/min

降溫速率

＜7℃/min

加熱功率

30kW(單爐)*2

加熱溫區

3個*2

爐溫均勻性

±2℃（350℃恒溫）

控溫熱偶

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料

石英

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調節進氣

流量計量程：

1）0-150L/min  氮氣

2）0-40L/min  氧氣

氣氛

N2/O2

排氣系統

在頂部設置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收



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